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- 온실가스 감축 위한 대용량 촉매식PFCs처리 설비 공급계약 체결
- 슬롯사이트 볼트 추천 지난해 총매출 중 약44%규모의 대형 계약
슬롯사이트 볼트 추천(EcoProHN)은 삼성엔지니어링과 약400억원 규모의 온실가스 저감 설비단일 판매, 공급계약을 체결했다.
이번 계약은 슬롯사이트 볼트 추천의 온실가스 감축 솔루션 사업 부문 중 대용량 촉매식PFCs(과불화화합물) 처리 설비(RCS)에 대한 공급 계약으로, 지난해 슬롯사이트 볼트 추천 총매출액의 약44%에 해당하는 규모의 금액이다.
PFCs는 6대 온실가스 중 지구온난화 계수(GWP)가 상대적으로 높은 온실가스(GWP 9,200,이산화탄소 대비 온실가스 효과9,200배)로 반도체, 디스플레이 산업공정에서 주로 발생한다. 슬롯사이트 볼트 추천의PFCs처리 설비는 반도체 공정 중 핵심 공정인 에칭공정(Etching)에서 사용되는PFCs를 슬롯사이트 볼트 추천만의 독자적인 촉매식 대형 온실가스 감축 기술로 제어하는 장비이다. <끝